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Structural Un-uniformity and Electrical Anisotropy of μc-Si:H Films
HAN Chunlong 1,*LI Juan 2
作者单位
摘要
1 Zhong Huan System Engineering Co., Ltd, Tianjin 300060， CHN
2 Institute of Photo-electronics, Nankai University, Tianjin 300071, CHN
μc-Si∶H thin film micro-structure anisotropy electrical property 
PDF全文 Full Text
半导体光子学与技术
2010, 16(4): 137
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